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精密微電子行業凈化工程
來源: | 作者:jmhykj | 發布時間: 1182天前 | 1332 次瀏覽 | 分享到:
精密微電子行業凈化工程

  凈化車間目前已廣泛應用于半導體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等精密微電子行業,凈化工程的設計過程中,應加強對微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程項目的具體情況,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。


  精密微電子凈化工程一般包括:

  1)潔凈生產區

  2)潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室


  3)管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

  4)設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


  精密微電子凈化工程凈化參數:

  ●換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

  ●平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。

  ●溫度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

  ●噪聲:≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。


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